紹誌這邊對真空約有10年的實務經驗,提供一些狀況給您參考。
1.泵浦入口端建議以bellow管,才不會有漏真空的現象。(目前使用塑膠管)
有漏氣現象。
2.人員操作上,真空腔門oring 部分,人員使用時,沒有清潔,腔門上的oring
有髒汙沒有去除,導致真空有洩露,真空度會飄。
3.主腔體腔門部分已經有鏽蝕,可以明顯看到oring有部分有密封,有部分
沒有密封。
4.一般做動馬達會放在真空腔室外面,貴司的做動馬達是放在真空內部,
較不恰當,不容易吐氣,真空度飄動大,需要用較大的泵浦抽。
5.泵浦到真空腔體之間的管路,有縮管,導致泵浦無法發揮最大抽氣效果。
主要在第1點較為嚴重,必須改善。以上報告,提供給您參考。